| |
Царик, К. А.
Формирование и исследование наногетероструктур AlGaN/GaN с применением атомно - силовой микроскопии [Текст] / К. А. Царик, В. К. Неволин
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2009. – № 6. – С. 44-49.
Рахработана методика получения слоев нитридов третьей группы с пониженным количеством дефектов, основанная на молекулярно - лучевой эпитаксии, при контроле поверхности с помощью сканирующей зондовой микроскопии. |
