|
Оптичний мікроелектронний перетворювач з активним індуктивним елементом для контролю плазмохімічних процесів [Текст] / В. С. Осадчук, О. В. Осадчук, Ю. С. Кравченко, О. О. Селецька // Вісник Вінницького політехнічного інституту. – 2009. – № 6. – С. 94-100.
Розроблено математичну модель мікроелектронного оптичного перетворювача з активним індуктивним елементом, призначеного для контролю плазмохімічних процесів. |