|
Поляков, В. В. Оптимизация угловой апертуры лазерной системы датчика изгибов кантилевера атомно-силового микрокопа [Текст] / В. В. Поляков // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2009. – № 4. – С. 87-89.
Рассмотрен вопрос влияния угловой апертуры лазерной системы датчика на его чувствительность и уровень шумов. |