| |
Овчинов, В. А.
Разработка технологии ретуширования прозрачных дефектов фотошаблов на лазерной установке ЭМ-5001Б [Текст] / В. А. Овчинов
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2009. – № 4. – С. 25-28.
Установлена зависимость высоты осаждения материала от режимов осаждения, кратности проходов и длины осаждения линии. Определены технологические режимы процесса устранения прозрачных дефектов на фотошаблоне. |
