| |
Процеси фазоутворення у багатошарових плівкових системах на основі алюмінію та титану [Текст] / С. І. Воробйов, А. О. Степаненко, А. М. Чорноус, Ю. М. Шабельник
// Металлофизика и новейшие технологии. – 2009. – Т. 31, № 6. – С. 837-845.
Досліджено процеси фазоутворення у плівкових системах на основі Ti й Al, яких одержано пошаровою конденсацією на підложжя, що переміщується з високою частотою між термічними випарниками відповідних елементів. |
