| |
Максимов, К. С.
Закономерности дефокусированных изображений в растровой электронной микроскопии и измерения размеров в нанообласти [Текст] / К. С. Максимов
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2009. – № 2. – С. 69-73.
Рассмотрены проблемы измерения размеров в нанообласти. Результаты натурных и модельных экспериментов с растровыми электронномикроскопическими изображениями в обратно рассеянных электронах показывают, что все профили интенсивности, возникающие при дефокусировках, пересикаются в точках, соответствующих краям обьекта. |
