| |
Васильев, А. А.
Исследование характеристик плазмохимического реактора с плоским индуктором [Текст] / А. А. Васильев
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2009. – № 3. – С. 7-11.
Приведены результаты исследования характеристик высокочастотного плазмохимического реактора с плоским индуктором. Получены зависимости плотности ионного тока отмощности ВЧ-разряда, давления аргона и магнитного поля. |
