| |
Амеличев, В. В.
Моделирование и расчет пьезомодуля тонкой пленки цирконата-титана свинца в тестовой микроструктуре [Текст] / В. В. Амеличев, Д. А. Сайкин
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2009. – № 3. – С. 3-6.
Представлены результаты моделирования механических напряжений в тестовой структуре кремневой балки и аналитического расчета пьезомодуля d31 тонкой пленки цирконата-титана свинца, расположенной в области упругого элемента. |
