|
Каримов, А. В. Корреляция параметров арсенид-галлиевых эпитаксиальных слоев и технологии их выращивания [Текст] / А. В. Каримов, Д. М. Ёдгорова, Э. Н. Якубов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2008. – № 4. – С. 38-41.
Экспериментально установлена корреляция подвижности и концентрации носителей заряда и условий выращивания методом жидкофазной эпитаксии арсенид-галлиевых слоев. |