| |
Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур [Текст] / В. А. Макара, В. А. Кепич Т. Ю. Одарич, Т. Д. Преображенская, О. В. Руденко
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2008. – № 2. – С. 40-46.
Разработана блок-схема, изготовлен макет прибора и создан пакет автоматизированных программ для измерения показателя преломления и контроля толщины пленок в процессе изготовления пленочных структур. |
