| |
Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах [Текст] / А. А. Алтухов, А. Ю. Митягин, А. В. Могучев, А. Б. Митягина
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2008. – № 3. – С. 27-29.
Описана методика расчета и экспериментальный способ определения основных параметров микродатчиков. |
