| |
Характеристика плазмохімічних тонких плівок карбонітриду кремнію, осаджених із гексаметилдісилану [Текст] / В. І. Іващенко, О. К. Порада, Л. А. Іващенко, І. І. Тімофєєва
// Порошковая металлургия. – 2009. – № 1-2. – С. 86-94.
Покриття із карбонітриду кремнію на кремнієвих підкладках отримано шляхом газофазового осадження, активованого плазмою, з використанням гексаметилдісилану. |
