| П 53 |
Полупроводниковая техника и микроэлектроника [Текст] : Респ. межвед. сборник. Вып. 24. – К. : Наукова думка, 1976. – 104 с.
Рассмотрены принципы создания перспективных высокочастотных устройств в микроисполнении, технологические особенности получения качественных пленочных пассивных СВЧ компонентов, в том числе резисторных элементов. |
