| Ж 73 |
Жиров, Г. А.
Технология гибридных интегральных микросхем [Текст] : Учебное пособие для вузов / Г. А. Жиров. – К. : Вища школа, 1976. – 240 с. – 6000.
Освещены вопросы теории и практики технологии гибридных интегральных микросхем. Даны расчеты размеров и расположения на подложке пассивных пленочных элементов микросхемы, способы изготовления и физические свойства пленок. |
