Опис документа

Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

Формуляр

Опис документа

621.382

Т 38

Технология и аппаратура газовой эпитаксии кремния и германия [Текст] / И.М. Скворцов, И.И. Лапидус, Б.В. Орион. – М. : Энергия, 1978. – 135 с.

УДК 621.382:548.25

Примірники

Місце збереження Кількість В наявностi

703 - абон. наук. літ. 1 1

Теми документа

Ключові слова/К/кремній, кремний

Ключові слова/А/апаратура, аппаратура

Ключові слова/Г/германій, германий

Ключові слова/Е/епітаксія, эпитаксия

Ключові слова/Е/епітаксія, эпитаксия/эпитаксия газовая

Ключові слова/Т/технология

Статистика використання: Видач: 0