| К 93 |
Курносов, А. И.
Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем [Текст] : Учебное пособие для вузов / А. И. Курносов, В. В. Юдин. – 2-е изд. перераб. – М. : Высш. школа, 1979. – 367 с. – 18000.
Описаны основные технологические процессы полупроводникового производства. |
