| К 60 |
Колешко, В. М.
Контроль в технологии микроэлектроники [Текст] / В. М. Колешко, П. П. Гойденко, Л. Д. Буйко ; АН БССР. Ин-т электроники. – Минск : Наука и техника, 1979. – 312 с. – 1475.
Рассмотрены вопросы теории и практики методов контроля дефектов кристаллической решетки и электрофизических свойств многослойных структур на различных этапах изготовления полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. |
