| Е 91 |
Ефимов, И. Е.
Микроэлектроника [Текст] : Физические и технологические основы, надежность. (Учебное пособие для вузов) / И. Е. Ефимов, Ю. И. Горбунов, И. Я. Козырь. – М. : Высшая школа, 1977. – 416 с. – 25000.
Изложены физические и технологические основы полупроводниковой и пленочной микроэлектроники. |
