| М 59 |
Микроэлектроника и полупроводниковые приборы [Текст] : Сборник статей. Вып.5 / Под ред. А.А. Васенкова, Я.А. Федотова. – М. : Сов. радио, 1980. – 320 с. – 10000.
Содержатся статьи по вопросам: общие проблемы и физические основы полупроводниковой микроэлектроники, основы технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем, методы контроля и проектирования микроэлектронной аппаратуры и технология ее изготовления. |
