| Л 38 |
Легирование полупроводников методом ядерных реакций [Текст] / АН СССР. Сибирское отделение. Ин-тут физики полупроводников. Отв. ред. Л.С.Смирнов. – Новосибирск : Наука, 1981. – 180 с.
В монографии рассмотрены физические основы нового метода легирования полупроволников, побочные явления - радиационные дефекты, кинетика их накопления и отжига. |
