| К 61 |
Колобов, Н. А.
Основы технологии электронных приборов [Текст] : Учебное пособие для вузов / Н. А. Колобов. – М. : Высшая школа, 1980. – 288с : ил. – 12000.
Изложены основы технологии производства электронных приборов; рассмотрены основы очистки исходных материалов и готовых структур, формообразования и обработки поверхностных элементов ЭП, получения композиционных, монолитных и монокристаллических покрытий и др. Для студентов специальности "Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение". Может быть полезна специалистам, занимающихся вопросами разработки технологии и конструирования электронных приборов. |
