| И 75 |
Ионная имплантация в полупроводники и другие материалы [Текст] : Сборник статей / Пер. с англ. под ред. В.С. Вавилова. – М. : Мир, 1980. – 331с : ил. – (Новости физики твердого тела; Вып.10). – Библиогр. в конце статей. – 2800.
Охватывает следующие вопросы:теоретические проблемы, связанные с ионной бомбардировкой; ионная имплантация и ионное распыление поверхности твердых тел; ионная имплантация в полупроводники и металлы; лазерный и электронный отжиг; радиационно-стимулированная диффузия. Для научных работников, занимающихся теоретическими и прикладными исследованиями в области физики полупроводников, микроэлектроники и материаловедения, а также для аспирантов, специализирующихся в этой области. |
