| Д 42 |
Джоветт, Ч. Е.
Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники [Текст] / Ч. Е. Джоветт ; Пер. с англ. М.И. Кондакова; Под ред. Е.Б. Соколова. – М. : Металлургия, 1980. – 112с : ил. – Библиогр.:с. 106-111. – 4100.
Изложены принципы создания микроэлектронных устройств на основе различных технологических процессов нанесения тонких и толстых пленок. Для широкого круга специалистов, работающих в области производства тонких и толстых пленок для микроэлектроники, разработки и производства гибридных интегральных микросхем, а также для студентов старших курсов соответствующих специальностей. |
