В монографии в систематизированном виде рассматривается теория явления термостимулированной деполяризации и основанный на этом явлении метод исследования электрофизических свойств диэлектриков, полупроводников, а также различных приборов и элементов интегральных схем, содержащих указанные материалы. Уточняются основные возможности и области применения метода термостимулированной деполяризации.