| Э 45 |
Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов [Текст] / Дж. Р. Брюэр, Д.С. Гринич, Д.Р. Херриот и др.; Под ред. Дж. Р. Брюэра. – М. : Радио и связь, 1984. – 336с : ил. – 5700.
Рассмотрены вопросы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии. Для широкого круга инженерно-технических работников, занимающихся проектированием и изготовлением полупроводниковых приборов и интегральных схем. |
