| Ш 44 |
Шелпакова, И. Р.
Послойный анализ материалов электронной техники [Текст] / И. Р. Шелпакова, И. Г. Юделевич, Б. М. Аюпов ; Отв. ред. Ю.А. Карпов. – Новосибирск : Наука, 1984. – 181с : ил. – Библиогр.: с. 159-179. – 1450.
В монографии рассмотрены вопросы послойного анализа монокристаллов, структур и пленок кремния, германия и соединений А III В V. Приведены подробные методики химического травления слоев толщиной от 0,01 до десятков микрометров и методики измерения толщины слоев при послойном анализе. Для химиков-аналитиков, исследователей и технологов, работающих в электронной промышленности. |
