Т 14 |
Таиров, Ю. М. Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов [Текст] : Учебник для вузов по спец. "Полупроводники и диэлектрики", "Полупроводниковые и микроэлектрон. приборы" / Ю. М. Таиров, В. Ф. Цветков. – М. : Высшая школа, 1983. – 271 с. : ил. – Библиогр.: с. 265-266. – 12000.
Изложены теоретические основы технологии получения полупроводниковых и диэлектрических материалов: процессов тепломассопередачи, химических процессов, процессов переработки сырьевых материалов, процессов кристаллизации и стеклования; рассмотрены основы моделирования технологических процессов, технологические схемы получения важнейших полупроводниковых и диэлектрических материалов, используемых в электронной технике. Для студентов вузов спец. "Полупроводники и диэлектрики", "Полупроводниковые и микроэлектрон. приборы". |