| П 88 |
Пузырев, В. А.
Управление технологическими процессами производства микроэлектронных приборов [Текст] / В. А. Пузырев. – М. : Радио и связь, 1984. – 160с : ил. – (Б-ка технолога радиоэлектрон. аппаратуры). – Библиогр.: с. 157-159. – 6500.
Изложена динамика процессов, протекающих в различных технологических установках. Рассмотрено автоматизированное проектирование оптимальных систем автоматического управления технологическими процессами. Для инженерно-технических работников, занимающихся производством микроэлектронных приборов. |
