| И 37 |
Измерения и контроль в микроэлектронике [Текст] : Учеб. пособие для вузов по специальностям электрон. техники / Дубовой Н.Д., Осокин В.И., Очков А.С. и др.;Под ред. А.А. Сазонова. – М. : Высш. школа, 1984. – 367с : ил. – 21000.
В пособии рассматриваются основные контрольно-измерительные операции, методы и средства контроля, используемые при производстве интегральных микросхем. Для студентов специальностей электронной техники вузов. |
