| А 16 |
Аброян, И. А.
Физические основы электронной и ионной технологии [Текст] : Учебное пособие / И. А. Аброян, А. Н. Андронов, А. И. Титов. – М. : Высш. школа, 1984. – 320с : ил. – 10000.
Изложены физические основы взаимодействия ионов и электронов с веществом, рассмотрены возможности применения этих процессов в технологии изготовления приборов, интегральных микросхем на основе полупроводниковых и пленочных материалов. Для студентов. |
