| А 94 |
Афанасьев, А. М.
Рентгеновская структурная диагностика в исследовании приповерхностных слоев монокристаллов [Текст] / А. М. Афанасьев, П. А. Александров, Р. М. Имамов. – М. : Наука, 1986. – 95с : ил. – (Проблемы науки и технического прогресса: ПН ТП). – Библиогр.: с. 93. – 3100.
Изложены основные идеи физики дифракции рентгеновских лучей, направленные на создание методов анализа кристаллической структуры тончайших приповерхностных слоев и границ раздела кристаллов высокой степени совершенства, в первую очередь полупроводниковых кристаллов, являющихся основой современной микроэлектроники. |
