| Т 38 |
Технологические проблемы микроэлектроники [Текст] / Отв.ред.тома: Т.М.Махвиладзе, А.В.Рыков. – М. : Наука, 1988. – 176с. – (Труды ИОФАН; Т.14). – 2150.
Сборник посвящен проблемам субмикронной технологии. Для специалистов в области микроэлектроники, а также для аспирантов и студентов. |
