| П 31 |
Петрук, В. Г.
Лабораторний практикум з курсу "Фізико-хімічні основи мікроелектронноі технологіі" [Текст] : Навч.посібник для студентів спеціальностей:6.0907, 6.0908, 6.0915, 7.091001 / В. Г. Петрук, Г. А. Корчинський, І. С. Безверхий ; MO Ураіни.ВДТУ. – ВІнниця : БДТУ, 1996. – 108 с. – 50.
В посібнику розглянуті фундаментальні основи технологічних процесів сучасного мікроелектронного виробництва в лабораторних роботах та характерних практичних задачах. |
