| М 78 |
МОП-СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов [Текст] / Под ред. П.Антонетти, Д.Антониадиса, Р.Даттон и др.; Пер. с англ. В.Л.Кустова, В.М.Петрова. – М. : Радио и связь, 1988. – 496с. – Библиогр. 737 назв. – 6500.
Книга представляет собй сборник лекций, прочитанных известными специалистами из многих стран на симпозиуме по математическому моделированию технологических процессов изготовления кремниевых интегральных схем (ИС) и электрических характеристик их основных элементов - МОП-транзисторов. Книга адресована прежде всего специалистам в области математического моделирования в микроэлектронике. |
