| О-22 |
Оборудование ионной имплантации [Текст] / В.В.Симонов, Л.А.Корнилов, А.В.Шашелев, Е.В.Шокин. – М. : Радио и связь, 1988. – 183с : ил. – 3600.
Для инженерно-технических работников, специализирующихся в области применения и разработки оборудования ионной имплантации. |
