| К 21 |
Карбань, В. И.
Обработка монокристаллов в микроэлектронике [Текст] / В. И. Карбань, Ю. И. Борзаков. – М. : Радио и связь, 1988. – 104с : ил. – (Массовая б-ка инженера "Электроника"). – 7000.
Изложены особенности обработки монокристаллов, имеющих наиболее широкое применение в микроэлектронике.Для инженерно-технических работников, занимающихся проектированием и производством изделий микроэлектроники. |
