| Б 95 |
Быстров, Ю. А.
Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве [Текст] / Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов. – М. : Радио и связь, 1988. – 168с : ил. – 9000.
Рассматриваются различные методы и средства измерения линейных размеров, толщин и глубин топологических элементов интегральных микросхем с позиций их применимости для неразрушающего и оперативного контроля в процессе производства. Для инженерно-технических работников. |
