| М 79 |
Моряков, О. С.
Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства [Текст] : Учеб. для ПТУ / О. С. Моряков. – 4-е изд., перераб. и доп. – М. : Высш. шк., 1989. – 239с : ил. – 15000.
Рассмотрены устройство, принцип действия, правила эксплуатации, технического обслуживания и наладки современного технологического оборудования для производства полупроводниковых приборов. |
