| Ч 68 |
Чистые помещения [Текст] / Ития Хаякава, Тосихару Окадзаки, Сюдзи Фудзии и др.; Под ред. И.Хаякавы; Перевод с яп. В.Ю.Акифьева и др. – М. : Мир, 1990. – 454с : ил. – 4900.
Книга японских специалистов посвящена исключительно актуальному направлению современной технологии производства электронных изделий - созданию особо чистых помещений для изготовления прецизионных, электронных компонентов и высококачественных материалов. Для специалистов по технологии производства изделий микроэлектроники и волоконной оптики, материалов для квантовой электроники и пленочной техники. |
