| М 74 |
Моделирование генераторов плазмы [Текст] : Учеб. пособие / МВССО УССР. УМК ВО; С.В.Денбновецкий, В.Т.Барченко, А.И.Кузьмичев, Л.Н.Шмырев. – К., 1990. – 216с. – Библиогр.: с.212-213. – 500.
Рассмотрены основные физические явления в тлеющих, дуговых, высокочастотных и СВЧ-разрядах, используемые в различных технических системах. Приведены примеры программного обеспечения САПР некоторых устройств ионной техники. Для студентов вузов, изучающих электронно-ионную технологию в различных отраслях промышленности, а также для специалистов, обучающихся на курсах повышения квалификации в этой области. |
