| Р86 |
Румак, Н. В.
Компоненты МОП-интегральных микросхем [Текст] / Н. В. Румак ; Под ред. А.П. Достанко; АН БССР, Физ.-техн. ин-т,. – Минск : Навука і тэхніка, 1991. – 311с. : ил. – Библиогр.: с.298-309. – 890.
Систематизированы современные представления и изложены оригинальные данные о влиянии условий получения на структуру и свойства основных компонентов МОП-интегральных микросхем: кремниевых подложек, подзатворных диэлектриков, пленок затвора, межслойной и межкомпонентной изоляции, контактов и межсоединений. |
