О-72 |
Осадчук, В. С. Физические основы микроэлектронных приборов [Текст] : Учеб.пособие / В. С. Осадчук ; МВ и ССО УССР. ВПИ. – К. : УМК ВО, 1991. – 232 с. – 1000.
В пособии изложены физические принципы и теоретические основы работы полупроводниковых и микроэлектронных приборов, элементов интегральных схем. Пособие предназначено для студентов и аспирантов инженерно-физических специальностей, а также специалистов по микроэлектронике. |