| А 22 |
Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники [Текст] : Учеб.пособие для приборостроит. спец. вузов / Под ред. А.А.Сазонова. – М. : Высш.шк., 1991. – 334с : ил. – 11000.
В книге рассматриваются вопросы разработки систем управления основными технологическими процессами интегральных микросхем, в том числе вопросы моделирования и идентификации технологического оборудования, разработки информационно-измерительных систем, управляющих и исполнительных устройств, а также системы управления некоторых конкретных технологических процессов и технологического микроклимата. |
