| Х74 |
Хорошайло, Ю. Е.
Резонансная вихретоковая толщинометрия тонких металлических пленок [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.13 / Юрий Евгеньевич Хорошайло ; Харьков. ин-т радиоэлектроники. – Вінниця : ВПИ, 1988. – 23 с. : ил. – Библиогр.: с.22-23.
Целью работы является разрабока и исследование высокоэффективных в метрологическом отношении резонансных ВИП для измерения параметров тонких проводящих пленок и создании на их основе измерительных средств различного назначения. |
