| С65 |
Сорокин, Г. Ф.
Исследование и разработка алгоритмов функционирования системы контроля технологических процессов производства интегральных схем [Текст] : дис. ... канд. техн. наук : 05.11.16 : защищена 11.06.82 / Герман Федорович Сорокин ; Кишинев. политехнич. ин-т. – Кишинев, 1982. – 164 с. – Библиогр.: с.153-164.
Разработаны алгоритмы функционирования системы контроля, предназначенной для распознавания и прогнозирования качественных состояний технологических процессов сборки интегральных схем в условиях массового производства. |
