|
Андронова, Е. Моделирование процессов тепломассопереноса при жидкофазной эпитаксии соединений A3B5 методом импульсного охлаждения насыщенного расствора-расплава [Текст] / Е. Андронова, Е. Баганова, В. Курак // Промышленная теплотехника. – 2007. – 29, № 4. – 38-44.
Рассмотрены процессы тепломассопереноса, при эпитаксии структур методом импульсного охлаждения насыщенного раствора-расплава с учетом слоя технологического газа между подложкой и теплопоглотителем |