| |
Рентгеновская рефлектометрия кремния, имплантированного фтором [Текст] / Н. Н. Герасименко, С. А. Апрелов, А. Н. Тарасенков [et al.]
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2007. – № 3. – 70-72.
Возможности принципиально новой модификации рентгеновского рефлектометра, основанного на использовании двухволновой измерительной схемы и других конструктивных решений, позволяют применять маломощные источники рентгеновского излучения, проводить экспресс-анализ с повышенной чувствительностью, а также сократить время на обработку результатов |
