|
Осадчук, В. С. Фізична модель вологочутливого елемента на МДН-структурі [Текст] / В. С. Осадчук, О. В. Осадчук, Л. В. Крилик // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. – 2002. – 1(3). – С. 137-145.
Розроблена фізична модель вологочутливого елемента на основі МДН-структури, вологочутливим шаром якого слугує аморфний двоокис кремнію. |