| |
Колпаков, Ф. Ф.
Квазистатические характеристики системы двухэлектродных MEMS-конденсаторов [Текст] / Ф. Ф. Колпаков, Н. Г. Борзяк
// Радиотехника. – 2007. – № 148. – 246-250.
Предложен квазистатический алгоритм определения характеристик системы двухэлектродных MEMS-конденсаторов с учетом взаимных емкостей и теплового воздействия |
