| |
Милешко, Л. П.
Механизмы формирования легированного фосфором или бором анодного SiO2 на карбиде кремния [Текст] / Л. П. Милешко
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2007. – № 2. – 10-15.
Цель настоящей работы - разработка механизмов формирования ЛАОП карбида кремния на основе термодинамического анализа анодных реакций SiC с компонентами электролитов |
